机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2011年
7期
189-191
,共3页
马云峰%郑浩峻%程智锋%姚望
馬雲峰%鄭浩峻%程智鋒%姚望
마운봉%정호준%정지봉%요망
三维轮廓扫描仪%表面形貌%非接触扫描%白光共焦
三維輪廓掃描儀%錶麵形貌%非接觸掃描%白光共焦
삼유륜곽소묘의%표면형모%비접촉소묘%백광공초
三维轮廓扫描仪是广泛应用于微纳表面三维形貌测量的高精度设备.基于白光共焦测量技术,提出了非接触式三维轮廓扫描仪设计方案和工作原理.扫描仪由精密扫描工作台、测量系统、光学辅助系统及控制系统组成.试制的扫描仪样机垂直测量范围为(20～400)μm,分辨率10nm,水平测量范围(100x100)mm,分辨率小于1μm.实验表明,该扫描仪可实现二维轮廓曲线和三维形貌测量,具有精度高、非接触、测量快速和测量范围宽等特点,对于实现高精度非接触式三维轮廓测量具有较高的实用价值.
三維輪廓掃描儀是廣汎應用于微納錶麵三維形貌測量的高精度設備.基于白光共焦測量技術,提齣瞭非接觸式三維輪廓掃描儀設計方案和工作原理.掃描儀由精密掃描工作檯、測量繫統、光學輔助繫統及控製繫統組成.試製的掃描儀樣機垂直測量範圍為(20～400)μm,分辨率10nm,水平測量範圍(100x100)mm,分辨率小于1μm.實驗錶明,該掃描儀可實現二維輪廓麯線和三維形貌測量,具有精度高、非接觸、測量快速和測量範圍寬等特點,對于實現高精度非接觸式三維輪廓測量具有較高的實用價值.
삼유륜곽소묘의시엄범응용우미납표면삼유형모측량적고정도설비.기우백광공초측량기술,제출료비접촉식삼유륜곽소묘의설계방안화공작원리.소묘의유정밀소묘공작태、측량계통、광학보조계통급공제계통조성.시제적소묘의양궤수직측량범위위(20～400)μm,분변솔10nm,수평측량범위(100x100)mm,분변솔소우1μm.실험표명,해소묘의가실현이유륜곽곡선화삼유형모측량,구유정도고、비접촉、측량쾌속화측량범위관등특점,대우실현고정도비접촉식삼유륜곽측량구유교고적실용개치.
