电子与信息学报
電子與信息學報
전자여신식학보
JOURNAL OF ELECTRONICS & INFORMATION TECHNOLOGY
2011年
11期
2771-2774
,共4页
杨鹏飞%彭春荣%张海岩%刘世国%夏善红
楊鵬飛%彭春榮%張海巖%劉世國%夏善紅
양붕비%팽춘영%장해암%류세국%하선홍
电场微传感器%微机电系统(MEMS)%绝缘体上硅(SOI)%分辨率
電場微傳感器%微機電繫統(MEMS)%絕緣體上硅(SOI)%分辨率
전장미전감기%미궤전계통(MEMS)%절연체상규(SOI)%분변솔
该文研制了一种新型的基于 SOI (Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构.为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步优化了传感器敏感结构参数.在室温和室内大气压条件下,测试表明,测试量程 0～50 kV/m,传感器总不确定度优于2%,分辨率为50 V/m.
該文研製瞭一種新型的基于 SOI (Silicon-On-Insulator)微機械加工技術的高性能電場傳感器敏感結構.為提高傳感器的靈敏度和信譟比,該器件採用側麵屏蔽感應電極的獨特設計方案,降低瞭傳感器屏蔽電極的邊緣效應;併基于有限元倣真,進一步優化瞭傳感器敏感結構參數.在室溫和室內大氣壓條件下,測試錶明,測試量程 0～50 kV/m,傳感器總不確定度優于2%,分辨率為50 V/m.
해문연제료일충신형적기우 SOI (Silicon-On-Insulator)미궤계가공기술적고성능전장전감기민감결구.위제고전감기적령민도화신조비,해기건채용측면병폐감응전겁적독특설계방안,강저료전감기병폐전겁적변연효응;병기우유한원방진,진일보우화료전감기민감결구삼수.재실온화실내대기압조건하,측시표명,측시량정 0～50 kV/m,전감기총불학정도우우2%,분변솔위50 V/m.
