真空
真空
진공
VACUUM
2004年
5期
38-41
,共4页
潘永强%朱昌%方勇%斯瓦德科夫斯基%达斯坦科
潘永彊%硃昌%方勇%斯瓦德科伕斯基%達斯坦科
반영강%주창%방용%사와덕과부사기%체사탄과
离子束辅助镀膜%端部霍尔离子源%电磁场%永久磁场
離子束輔助鍍膜%耑部霍爾離子源%電磁場%永久磁場
리자속보조도막%단부곽이리자원%전자장%영구자장
介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔离子源的工作原理,并论述了端部霍尔离子源的离子能量、离子分布特性的测试方法;详细论述了电磁场和永久磁场两种模式下,端部霍尔离子源的工作稳定性、离子能量大小以及离子束分布特性的比较.
介紹瞭一種用于離子束輔助沉積光學薄膜的耑部霍爾離子源的工作原理,併論述瞭耑部霍爾離子源的離子能量、離子分佈特性的測試方法;詳細論述瞭電磁場和永久磁場兩種模式下,耑部霍爾離子源的工作穩定性、離子能量大小以及離子束分佈特性的比較.
개소료일충용우리자속보조침적광학박막적단부곽이리자원적공작원리,병논술료단부곽이리자원적리자능량、리자분포특성적측시방법;상세논술료전자장화영구자장량충모식하,단부곽이리자원적공작은정성、리자능량대소이급리자속분포특성적비교.
