中国民航学院学报
中國民航學院學報
중국민항학원학보
JOURNAL OF CIVIL AVIATION UNIVERSITY OF CHINA
2006年
5期
56-59
,共4页
李立%刘峰%柴立全%王娟%孟月冬%任兆杏
李立%劉峰%柴立全%王娟%孟月鼕%任兆杏
리립%류봉%시립전%왕연%맹월동%임조행
射频磁控溅射%Cr/CrN多层薄膜%微结构%纳米硬度%内应力
射頻磁控濺射%Cr/CrN多層薄膜%微結構%納米硬度%內應力
사빈자공천사%Cr/CrN다층박막%미결구%납미경도%내응력
利用射频磁控溅射制备了Cr/CrN多层薄膜,并对比单层CrN薄膜,分析研究了多层膜周期与结构和性能之间的关系.研究结果表明:多层膜中没有出现柱状晶体结构,而且结晶取向与单层CrN有显著区别;多层膜的应力普遍小于单层CrN,硬度略高于或接近于单层CrN,在外力作用下的抗变形能力远高于单层CrN;多层膜的应力和硬度随周期厚度的减小而增大,在周期15 nm时硬度值达到最大23.8 GPa,表明Cr/CrN多层膜的硬度与周期结果有关,而且存在使薄膜性能达到最佳的周期值.
利用射頻磁控濺射製備瞭Cr/CrN多層薄膜,併對比單層CrN薄膜,分析研究瞭多層膜週期與結構和性能之間的關繫.研究結果錶明:多層膜中沒有齣現柱狀晶體結構,而且結晶取嚮與單層CrN有顯著區彆;多層膜的應力普遍小于單層CrN,硬度略高于或接近于單層CrN,在外力作用下的抗變形能力遠高于單層CrN;多層膜的應力和硬度隨週期厚度的減小而增大,在週期15 nm時硬度值達到最大23.8 GPa,錶明Cr/CrN多層膜的硬度與週期結果有關,而且存在使薄膜性能達到最佳的週期值.
이용사빈자공천사제비료Cr/CrN다층박막,병대비단층CrN박막,분석연구료다층막주기여결구화성능지간적관계.연구결과표명:다층막중몰유출현주상정체결구,이차결정취향여단층CrN유현저구별;다층막적응력보편소우단층CrN,경도략고우혹접근우단층CrN,재외력작용하적항변형능력원고우단층CrN;다층막적응력화경도수주기후도적감소이증대,재주기15 nm시경도치체도최대23.8 GPa,표명Cr/CrN다층막적경도여주기결과유관,이차존재사박막성능체도최가적주기치.
