仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2006年
9期
1125-1128
,共4页
陈本永%雷勇%李延宝%张丽琼%王俊茹%冯平
陳本永%雷勇%李延寶%張麗瓊%王俊茹%馮平
진본영%뢰용%리연보%장려경%왕준여%풍평
磁悬浮%微动工作台%理论分析%仿真研究%Halbach磁阵列
磁懸浮%微動工作檯%理論分析%倣真研究%Halbach磁陣列
자현부%미동공작태%이론분석%방진연구%Halbach자진렬
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围纳米级精度的微运动.本文构建了一种新型的磁悬浮微动工作台,从理论上对磁悬浮式微动工作台的运动机理进行了详尽分析,建立了磁悬浮式微运动的电磁驱动模型,用Matlab对磁悬浮式微动工作台的运动控制进行了仿真研究,结果表明,设计的磁悬浮式微动工作台能达到纳米级的微运动.本文的研究成果为磁悬浮式微动工作台的设计及其控制提供了理论基础.
磁懸浮式微動工作檯由于運動平檯和驅動機構採用非接觸式的磁懸浮驅動技術而易于實現大範圍納米級精度的微運動.本文構建瞭一種新型的磁懸浮微動工作檯,從理論上對磁懸浮式微動工作檯的運動機理進行瞭詳儘分析,建立瞭磁懸浮式微運動的電磁驅動模型,用Matlab對磁懸浮式微動工作檯的運動控製進行瞭倣真研究,結果錶明,設計的磁懸浮式微動工作檯能達到納米級的微運動.本文的研究成果為磁懸浮式微動工作檯的設計及其控製提供瞭理論基礎.
자현부식미동공작태유우운동평태화구동궤구채용비접촉식적자현부구동기술이역우실현대범위납미급정도적미운동.본문구건료일충신형적자현부미동공작태,종이론상대자현부식미동공작태적운동궤리진행료상진분석,건립료자현부식미운동적전자구동모형,용Matlab대자현부식미동공작태적운동공제진행료방진연구,결과표명,설계적자현부식미동공작태능체도납미급적미운동.본문적연구성과위자현부식미동공작태적설계급기공제제공료이론기출.
