功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
1期
56-59
,共4页
李天璘%朱彦旭%徐晨%高国%沈光地
李天璘%硃彥旭%徐晨%高國%瀋光地
리천린%주언욱%서신%고국%침광지
ITO%椭偏仪%电子束蒸发法%蒸发速率
ITO%橢偏儀%電子束蒸髮法%蒸髮速率
ITO%타편의%전자속증발법%증발속솔
由于ITO具有复杂的微观结构和吸收机制,很难准确测量出它的光学常数.采用变入射角光度椭偏仪(VASE)建立了一套简单的拟合模型,成功拟合出ITO光学常数在可见光范围内随波长的变化关系.并在此基础上分析了电子束蒸发法蒸发速率对ITO薄膜光学常数的影响.根据Hall效应测量了ITO在不同蒸发速率下的载流子浓度,分析了ITO光学常数随蒸发速率增加而增加的机理.
由于ITO具有複雜的微觀結構和吸收機製,很難準確測量齣它的光學常數.採用變入射角光度橢偏儀(VASE)建立瞭一套簡單的擬閤模型,成功擬閤齣ITO光學常數在可見光範圍內隨波長的變化關繫.併在此基礎上分析瞭電子束蒸髮法蒸髮速率對ITO薄膜光學常數的影響.根據Hall效應測量瞭ITO在不同蒸髮速率下的載流子濃度,分析瞭ITO光學常數隨蒸髮速率增加而增加的機理.
유우ITO구유복잡적미관결구화흡수궤제,흔난준학측량출타적광학상수.채용변입사각광도타편의(VASE)건립료일투간단적의합모형,성공의합출ITO광학상수재가견광범위내수파장적변화관계.병재차기출상분석료전자속증발법증발속솔대ITO박막광학상수적영향.근거Hall효응측량료ITO재불동증발속솔하적재류자농도,분석료ITO광학상수수증발속솔증가이증가적궤리.
