激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2009年
10期
1078-1081
,共4页
锑化铟%湿法腐蚀%极性
銻化銦%濕法腐蝕%極性
제화인%습법부식%겁성
极性是InSb晶体结构的一种属性,文中研究了这种极性对InSb晶片湿法腐蚀的影响,并对这种极性产生的原因进行了分析.结果表明,对于工艺中常用的CP4腐蚀液,(111)及(211)晶面腐蚀时表现出极性,(111)A面平均腐蚀速率为2.2 μm/s,(111)B面的平均腐蚀速率为3.6 μm/s;(211)A面的平均腐蚀速率为3 μm/s,(211)B面的平均腐蚀速率为4.8 μm/s;而(110)晶面在腐蚀时未表现出极性效应,只存在一种腐蚀速率为4 μm/s.
極性是InSb晶體結構的一種屬性,文中研究瞭這種極性對InSb晶片濕法腐蝕的影響,併對這種極性產生的原因進行瞭分析.結果錶明,對于工藝中常用的CP4腐蝕液,(111)及(211)晶麵腐蝕時錶現齣極性,(111)A麵平均腐蝕速率為2.2 μm/s,(111)B麵的平均腐蝕速率為3.6 μm/s;(211)A麵的平均腐蝕速率為3 μm/s,(211)B麵的平均腐蝕速率為4.8 μm/s;而(110)晶麵在腐蝕時未錶現齣極性效應,隻存在一種腐蝕速率為4 μm/s.
겁성시InSb정체결구적일충속성,문중연구료저충겁성대InSb정편습법부식적영향,병대저충겁성산생적원인진행료분석.결과표명,대우공예중상용적CP4부식액,(111)급(211)정면부식시표현출겁성,(111)A면평균부식속솔위2.2 μm/s,(111)B면적평균부식속솔위3.6 μm/s;(211)A면적평균부식속솔위3 μm/s,(211)B면적평균부식속솔위4.8 μm/s;이(110)정면재부식시미표현출겁성효응,지존재일충부식속솔위4 μm/s.
