光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2009年
6期
6-11
,共6页
非相干光反馈%表面轮廓测量%非接触测量%仿真研究
非相榦光反饋%錶麵輪廓測量%非接觸測量%倣真研究
비상간광반궤%표면륜곽측량%비접촉측량%방진연구
对一种基于非相干光反馈的表面轮廓测量方法,对其进行了理论仿真研究.建立了基于非相干光反馈表面轮廓测量的系统模型,分析了不同反馈光耦合强度的输出特性,系统的稳定状态,注入电流对系统的影响,以及反馈强度和表面深度的关系.结果证明该方法的可行性,研究结果对系统参数设计具有参考价值.
對一種基于非相榦光反饋的錶麵輪廓測量方法,對其進行瞭理論倣真研究.建立瞭基于非相榦光反饋錶麵輪廓測量的繫統模型,分析瞭不同反饋光耦閤彊度的輸齣特性,繫統的穩定狀態,註入電流對繫統的影響,以及反饋彊度和錶麵深度的關繫.結果證明該方法的可行性,研究結果對繫統參數設計具有參攷價值.
대일충기우비상간광반궤적표면륜곽측량방법,대기진행료이론방진연구.건립료기우비상간광반궤표면륜곽측량적계통모형,분석료불동반궤광우합강도적수출특성,계통적은정상태,주입전류대계통적영향,이급반궤강도화표면심도적관계.결과증명해방법적가행성,연구결과대계통삼수설계구유삼고개치.
