功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
8期
1317-1320
,共4页
孟军霞%马书懿%陈海霞%陶亚明%侯丽莉%贾迎飞%尚小荣
孟軍霞%馬書懿%陳海霞%陶亞明%侯麗莉%賈迎飛%尚小榮
맹군하%마서의%진해하%도아명%후려리%가영비%상소영
磁控溅射法%AZO薄膜%结构特性%光学特性%量子限域
磁控濺射法%AZO薄膜%結構特性%光學特性%量子限域
자공천사법%AZO박막%결구특성%광학특성%양자한역
采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备出不同Al掺杂量的ZnO(AZO)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致荧光发光(PL)等系统研究了不同Al掺杂量对ZnO薄膜的结晶性能、表面形貌和光学特性等的影响.结果显示,随着Al掺杂量的增加,薄膜的(002)衍射峰先增强后减弱,同时出现了(100)、(101)和(110)衍射峰,表明我们制备的AZO薄膜为多晶纤锌矿结构,适量的Al掺杂可提高ZnO薄膜的结晶质量,然而AZO薄膜的表面平整、晶粒致密均匀.薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过90%,同时随着Al掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值先增大,后减小.这与采用量子限域模型对薄膜的光学带隙作出相应的理论计算所得结果的变化趋势完全一致.
採用射頻磁控濺射方法在玻璃襯底上製備齣不同Al摻雜量的ZnO(AZO)薄膜.利用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)和光緻熒光髮光(PL)等繫統研究瞭不同Al摻雜量對ZnO薄膜的結晶性能、錶麵形貌和光學特性等的影響.結果顯示,隨著Al摻雜量的增加,薄膜的(002)衍射峰先增彊後減弱,同時齣現瞭(100)、(101)和(110)衍射峰,錶明我們製備的AZO薄膜為多晶纖鋅礦結構,適量的Al摻雜可提高ZnO薄膜的結晶質量,然而AZO薄膜的錶麵平整、晶粒緻密均勻.薄膜在紫外-可見光範圍的透過率超過90%,同時隨著Al摻雜量的增加,薄膜的光學帶隙值先增大,後減小.這與採用量子限域模型對薄膜的光學帶隙作齣相應的理論計算所得結果的變化趨勢完全一緻.
채용사빈자공천사방법재파리츤저상제비출불동Al참잡량적ZnO(AZO)박막.이용X사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화광치형광발광(PL)등계통연구료불동Al참잡량대ZnO박막적결정성능、표면형모화광학특성등적영향.결과현시,수착Al참잡량적증가,박막적(002)연사봉선증강후감약,동시출현료(100)、(101)화(110)연사봉,표명아문제비적AZO박막위다정섬자광결구,괄량적Al참잡가제고ZnO박막적결정질량,연이AZO박막적표면평정、정립치밀균균.박막재자외-가견광범위적투과솔초과90%,동시수착Al참잡량적증가,박막적광학대극치선증대,후감소.저여채용양자한역모형대박막적광학대극작출상응적이론계산소득결과적변화추세완전일치.
