硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2005年
11期
1314-1320
,共7页
刘成龙%杨大智%彭乔%邓新绿
劉成龍%楊大智%彭喬%鄧新綠
류성룡%양대지%팽교%산신록
类金刚石薄膜%电化学阻抗谱%模拟体液%等离子体源离子注入%等离子体增强化学气相沉积
類金剛石薄膜%電化學阻抗譜%模擬體液%等離子體源離子註入%等離子體增彊化學氣相沉積
류금강석박막%전화학조항보%모의체액%등리자체원리자주입%등리자체증강화학기상침적
利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术两种工艺对医用316L不锈钢进行类金刚石薄膜表面改性.利用电化学阻抗谱法考察了两种工艺制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的抗腐蚀性能.结果表明:与采用等离子体增强化学气相沉积技术制备的类金刚石薄膜相比,在72 h的浸泡时间内,采用等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术制备的类金刚石薄膜防腐蚀性能明显增高,腐蚀阻抗较高,碳注入层可有效抑制溶液渗入薄膜和基体之间的界面,起到了腐蚀防护层的作用.动电位极化测试表明:采用复合技术制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的腐蚀倾向性更低,钝态稳定性更好.
利用雙放電腔微波等離子體源全方位離子註入設備,分彆採用等離子體增彊化學氣相沉積技術、等離子體源離子註入和等離子體增彊化學氣相沉積複閤技術兩種工藝對醫用316L不鏽鋼進行類金剛石薄膜錶麵改性.利用電化學阻抗譜法攷察瞭兩種工藝製備的類金剛石薄膜在模擬體液中的抗腐蝕性能.結果錶明:與採用等離子體增彊化學氣相沉積技術製備的類金剛石薄膜相比,在72 h的浸泡時間內,採用等離子體源離子註入和等離子體增彊化學氣相沉積複閤技術製備的類金剛石薄膜防腐蝕性能明顯增高,腐蝕阻抗較高,碳註入層可有效抑製溶液滲入薄膜和基體之間的界麵,起到瞭腐蝕防護層的作用.動電位極化測試錶明:採用複閤技術製備的類金剛石薄膜在模擬體液中的腐蝕傾嚮性更低,鈍態穩定性更好.
이용쌍방전강미파등리자체원전방위리자주입설비,분별채용등리자체증강화학기상침적기술、등리자체원리자주입화등리자체증강화학기상침적복합기술량충공예대의용316L불수강진행류금강석박막표면개성.이용전화학조항보법고찰료량충공예제비적류금강석박막재모의체액중적항부식성능.결과표명:여채용등리자체증강화학기상침적기술제비적류금강석박막상비,재72 h적침포시간내,채용등리자체원리자주입화등리자체증강화학기상침적복합기술제비적류금강석박막방부식성능명현증고,부식조항교고,탄주입층가유효억제용액삼입박막화기체지간적계면,기도료부식방호층적작용.동전위겁화측시표명:채용복합기술제비적류금강석박막재모의체액중적부식경향성경저,둔태은정성경호.
