实验科学与技术
實驗科學與技術
실험과학여기술
EXPERIMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
4期
106-109
,共4页
HgCdTe材料%薄膜%红外探测器%薄膜的制备
HgCdTe材料%薄膜%紅外探測器%薄膜的製備
HgCdTe재료%박막%홍외탐측기%박막적제비
近年来,HgCdTe材料在红外领域的应用得到了长足的发展,并成为继Si和GaAs以后最为重要的半导体材料之一.在发展过程中,由最初的采用体材料直接制作器件,发展到目前利用薄膜技术来制作器件,并通过灵活运用各种薄膜的制备和掺杂技术,采用不同的器件结构,使器件的性能取得了极大的提高.由单元到多元到焦平面,由单色到双色,由低温到高温,由短波波段到长波波段,HgCdTe红外探测器已发展成为了种类最齐全,应用最广泛的一类红外探测器.
近年來,HgCdTe材料在紅外領域的應用得到瞭長足的髮展,併成為繼Si和GaAs以後最為重要的半導體材料之一.在髮展過程中,由最初的採用體材料直接製作器件,髮展到目前利用薄膜技術來製作器件,併通過靈活運用各種薄膜的製備和摻雜技術,採用不同的器件結構,使器件的性能取得瞭極大的提高.由單元到多元到焦平麵,由單色到雙色,由低溫到高溫,由短波波段到長波波段,HgCdTe紅外探測器已髮展成為瞭種類最齊全,應用最廣汎的一類紅外探測器.
근년래,HgCdTe재료재홍외영역적응용득도료장족적발전,병성위계Si화GaAs이후최위중요적반도체재료지일.재발전과정중,유최초적채용체재료직접제작기건,발전도목전이용박막기술래제작기건,병통과령활운용각충박막적제비화참잡기술,채용불동적기건결구,사기건적성능취득료겁대적제고.유단원도다원도초평면,유단색도쌍색,유저온도고온,유단파파단도장파파단,HgCdTe홍외탐측기이발전성위료충류최제전,응용최엄범적일류홍외탐측기.
