中国印刷与包装研究
中國印刷與包裝研究
중국인쇄여포장연구
CHINA PRINTING AND PACKAGING STUDY
2009年
1期
92-96
,共5页
徐克非%朱鸿%孙智慧%林晶%刘壮
徐剋非%硃鴻%孫智慧%林晶%劉壯
서극비%주홍%손지혜%림정%류장
磁控溅射%氧化铝薄膜%阻隔性
磁控濺射%氧化鋁薄膜%阻隔性
자공천사%양화려박막%조격성
采用直流反应磁控溅射工艺,进行了一系列在PET塑料薄膜表面沉积氧化铝的实验,研究了氩气(Ar)、氧气(O2)和溅射功率对所制备的A12O3薄膜透氧率和透湿率的影响.实验表明,当氩气流量为90sccm、氧气流量为10sccm、溅射功率为600W时,A12O3薄膜的透氧率为2.11cm3/(m2×atm×24h),透湿率为0.58g/(m2×atm×24h),此时薄膜阻隔性能最好.
採用直流反應磁控濺射工藝,進行瞭一繫列在PET塑料薄膜錶麵沉積氧化鋁的實驗,研究瞭氬氣(Ar)、氧氣(O2)和濺射功率對所製備的A12O3薄膜透氧率和透濕率的影響.實驗錶明,噹氬氣流量為90sccm、氧氣流量為10sccm、濺射功率為600W時,A12O3薄膜的透氧率為2.11cm3/(m2×atm×24h),透濕率為0.58g/(m2×atm×24h),此時薄膜阻隔性能最好.
채용직류반응자공천사공예,진행료일계렬재PET소료박막표면침적양화려적실험,연구료아기(Ar)、양기(O2)화천사공솔대소제비적A12O3박막투양솔화투습솔적영향.실험표명,당아기류량위90sccm、양기류량위10sccm、천사공솔위600W시,A12O3박막적투양솔위2.11cm3/(m2×atm×24h),투습솔위0.58g/(m2×atm×24h),차시박막조격성능최호.
