CAJ | 학술논문

设计了一种基于虚拟仪器的微机电系统动态特性测试仪,主要用于微机电系统的频谱测试和静态特性测试.该仪器采用PCI总线24位高性能数据采集卡,使用虚拟仪器技术进行设计和开发,采用扫频方法给待测系统输入一系列由低频到高频的正弦激励信号,进而分析出该系统响应和激励之间的关系.其频率范围为0.01Hz-10 kHz,并能在关键频率附近增加测试的频率点以提高精度.试验表明,该仪器的最大幅值误差小于0.2dB,最大相位误差小于0.7°,同时具有较高的可靠性和扩展性.该仪器自动化程度高,并具有良好的人机交互特性,可实时显示测试数据并绘制曲线,并在测试完成后进行数据分析处理,最后自动生成报表.
설계료일충기우허의의기적미궤전계통동태특성측시의,주요용우미궤전계통적빈보측시화정태특성측시.해의기채용PCI총선24위고성능수거채집잡,사용허의의기기술진행설계화개발,채용소빈방법급대측계통수입일계렬유저빈도고빈적정현격려신호,진이분석출해계통향응화격려지간적관계.기빈솔범위위0.01Hz-10 kHz,병능재관건빈솔부근증가측시적빈솔점이제고정도.시험표명,해의기적최대폭치오차소우0.2dB,최대상위오차소우0.7°,동시구유교고적가고성화확전성.해의기자동화정도고,병구유량호적인궤교호특성,가실시현시측시수거병회제곡선,병재측시완성후진행수거분석처리,최후자동생성보표.