聊城大学学报（自然科学版）
聊城大學學報（自然科學版）
료성대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAOCHENG TEACHERS UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2011年
1期
61-62
,共2页
光学薄膜%基板温度%电子束沉积%LaF3
光學薄膜%基闆溫度%電子束沉積%LaF3
광학박막%기판온도%전자속침적%LaF3
采用电子束沉积的方法,在紫外熔凝石英基片上制备了LaF<,3>单层膜.研究了基板温度对LaF<,3>薄膜紫外光学性能的影响,基板温度从200℃上升到300℃,间隔为50℃.采用分光光度计测量了样品的透射率光谱曲线,并在此基础上进行了光学常数的计算.分析结果表明:在本实验条件下,薄膜的折射率随温度的升高而增大;消光系数随温度的升高有增大的趋势;
採用電子束沉積的方法,在紫外鎔凝石英基片上製備瞭LaF<,3>單層膜.研究瞭基闆溫度對LaF<,3>薄膜紫外光學性能的影響,基闆溫度從200℃上升到300℃,間隔為50℃.採用分光光度計測量瞭樣品的透射率光譜麯線,併在此基礎上進行瞭光學常數的計算.分析結果錶明:在本實驗條件下,薄膜的摺射率隨溫度的升高而增大;消光繫數隨溫度的升高有增大的趨勢;
채용전자속침적적방법,재자외용응석영기편상제비료LaF<,3>단층막.연구료기판온도대LaF<,3>박막자외광학성능적영향,기판온도종200℃상승도300℃,간격위50℃.채용분광광도계측량료양품적투사솔광보곡선,병재차기출상진행료광학상수적계산.분석결과표명:재본실험조건하,박막적절사솔수온도적승고이증대;소광계수수온도적승고유증대적추세;
