现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2012年
7期
26-29,39
,共5页
多线切割%双面研磨%ELID磨削%化学机械抛光%超光滑表面
多線切割%雙麵研磨%ELID磨削%化學機械拋光%超光滑錶麵
다선절할%쌍면연마%ELID마삭%화학궤계포광%초광활표면
通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合；磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削；抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质量,从而获得超光滑表面.分析了碳化硅衬底加工存在的问题并指出超精密加工的发展趋势.
通過對比不同的加工方法穫得最佳工藝:切片採用多線切割或者多線切割與超聲切割相結閤；磨削採用雙麵研磨穫得較低翹麯度的錶麵或ELID磨削實現高速、高效、高質量磨削；拋光工藝使用化學機械拋光方法,通過粗拋提高加工效率,精拋提高錶麵質量,從而穫得超光滑錶麵.分析瞭碳化硅襯底加工存在的問題併指齣超精密加工的髮展趨勢.
통과대비불동적가공방법획득최가공예:절편채용다선절할혹자다선절할여초성절할상결합；마삭채용쌍면연마획득교저교곡도적표면혹ELID마삭실현고속、고효、고질량마삭；포광공예사용화학궤계포광방법,통과조포제고가공효솔,정포제고표면질량,종이획득초광활표면.분석료탄화규츤저가공존재적문제병지출초정밀가공적발전추세.
