压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2011年
6期
958-960
,共3页
压电陶瓷%致动器%十字交叉型%富氧退火
壓電陶瓷%緻動器%十字交扠型%富氧退火
압전도자%치동기%십자교차형%부양퇴화
该文主要设计了一种适应高频响应、高压电性能、低电容的压电陶瓷致动器,并研究了工艺参数对性能的影响.结果表明,6.4 mm×6.4 mm×64 mm(厚度0.5 mm)的十字交叉型压电陶瓷致动器具有滞后性、回零性、对称性好的特点,其电容为27.3 nF,200 V位移约为8μm；富氧去应力退火可降低材料的微缺陷组织,减少应力集中现象的发生,提高压电材料的压电特性；电镀电极或热蒸发电极的压电特性明显好于烧结银电极,原因是烧结银电极过程发生一定的渗银现象,并形成一定数量的低温共熔体,从而降低厚膜压电材料的压电特性.
該文主要設計瞭一種適應高頻響應、高壓電性能、低電容的壓電陶瓷緻動器,併研究瞭工藝參數對性能的影響.結果錶明,6.4 mm×6.4 mm×64 mm(厚度0.5 mm)的十字交扠型壓電陶瓷緻動器具有滯後性、迴零性、對稱性好的特點,其電容為27.3 nF,200 V位移約為8μm；富氧去應力退火可降低材料的微缺陷組織,減少應力集中現象的髮生,提高壓電材料的壓電特性；電鍍電極或熱蒸髮電極的壓電特性明顯好于燒結銀電極,原因是燒結銀電極過程髮生一定的滲銀現象,併形成一定數量的低溫共鎔體,從而降低厚膜壓電材料的壓電特性.
해문주요설계료일충괄응고빈향응、고압전성능、저전용적압전도자치동기,병연구료공예삼수대성능적영향.결과표명,6.4 mm×6.4 mm×64 mm(후도0.5 mm)적십자교차형압전도자치동기구유체후성、회령성、대칭성호적특점,기전용위27.3 nF,200 V위이약위8μm；부양거응력퇴화가강저재료적미결함조직,감소응력집중현상적발생,제고압전재료적압전특성；전도전겁혹열증발전겁적압전특성명현호우소결은전겁,원인시소결은전겁과정발생일정적삼은현상,병형성일정수량적저온공용체,종이강저후막압전재료적압전특성.
