一种气相沉积薄膜TEM样品制备技术——改进的可溶盐基片法
일충기상침적박막TEM양품제비기술——개진적가용염기편법
A TEM sample preparation technique for vapor deposited thin films——improved soluble salt substrate method
  • 万方数据
    电子显微学报 전자현미학보
    JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
    2012年 1期 70-73 ,共4页

    杨铎%董玉军%沈洁%李戈扬

    양탁%동옥군%침길%리과양

    TEM%样品制备%薄膜 TEM%樣品製備%薄膜
    TEM%양품제비%박막
    本文对可溶盐基片方法制备薄膜TEM样品进行了改进.改进后不仅保持了原可溶盐基片法方便、高效和快捷的特点,还可以根据表征需要获得薄膜在不同生长阶段微结构的样品.
    본문대가용염기편방법제비박막TEM양품진행료개진.개진후불부보지료원가용염기편법방편、고효화쾌첩적특점,환가이근거표정수요획득박막재불동생장계단미결구적양품.
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