山东科学
山東科學
산동과학
SHANDONG SCIENCE
2003年
4期
68-69
,共2页
化合物半导体%晶体融合%刻蚀工艺%混合物
化閤物半導體%晶體融閤%刻蝕工藝%混閤物
화합물반도체%정체융합%각식공예%혼합물
随着世界范围内对半导体产品需求的持续上扬,半导体发展已到了黄金时期.本文从半导体硅制造工艺的研究进展、化合物半导体技术的研究进展和应用等方面进行了综述.
隨著世界範圍內對半導體產品需求的持續上颺,半導體髮展已到瞭黃金時期.本文從半導體硅製造工藝的研究進展、化閤物半導體技術的研究進展和應用等方麵進行瞭綜述.
수착세계범위내대반도체산품수구적지속상양,반도체발전이도료황금시기.본문종반도체규제조공예적연구진전、화합물반도체기술적연구진전화응용등방면진행료종술.
