真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
3期
233-237
,共5页
闫梁臣%熊小涛%杨会生%高克玮%王燕斌
閆樑臣%熊小濤%楊會生%高剋瑋%王燕斌
염량신%웅소도%양회생%고극위%왕연빈
(Ti,Al)N 磁控共溅射 等离子体发射光谱 金属态溅射 非金属态溅射
(Ti,Al)N 磁控共濺射 等離子體髮射光譜 金屬態濺射 非金屬態濺射
(Ti,Al)N 자공공천사 등리자체발사광보 금속태천사 비금속태천사
采用磁控双靶反应共溅射技术制备出了(Ti0.5Al0.5)N耐磨硬质薄膜,其显微硬度高于35GPa,摩擦系数小于0.18.实验结果表明当N2流量较低时,(Ti,Al)N薄膜结构和性能随N2流量变化明显;当N2流量较高时,薄膜结构和性能变化缓慢.等离子体发射光谱仪(PEM)对磁控反应溅射过程监测结果表明,钛铝原子与氮原子反应存在一个临界点,低于临界点,磁控反应溅射为金属态溅射模式,高于临界点,磁控溅射向非金属态溅射模式转变,溅射速率降低.
採用磁控雙靶反應共濺射技術製備齣瞭(Ti0.5Al0.5)N耐磨硬質薄膜,其顯微硬度高于35GPa,摩抆繫數小于0.18.實驗結果錶明噹N2流量較低時,(Ti,Al)N薄膜結構和性能隨N2流量變化明顯;噹N2流量較高時,薄膜結構和性能變化緩慢.等離子體髮射光譜儀(PEM)對磁控反應濺射過程鑑測結果錶明,鈦鋁原子與氮原子反應存在一箇臨界點,低于臨界點,磁控反應濺射為金屬態濺射模式,高于臨界點,磁控濺射嚮非金屬態濺射模式轉變,濺射速率降低.
채용자공쌍파반응공천사기술제비출료(Ti0.5Al0.5)N내마경질박막,기현미경도고우35GPa,마찰계수소우0.18.실험결과표명당N2류량교저시,(Ti,Al)N박막결구화성능수N2류량변화명현;당N2류량교고시,박막결구화성능변화완만.등리자체발사광보의(PEM)대자공반응천사과정감측결과표명,태려원자여담원자반응존재일개림계점,저우림계점,자공반응천사위금속태천사모식,고우림계점,자공천사향비금속태천사모식전변,천사속솔강저.
