功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2006年
8期
1216-1219
,共4页
许小亮%王烨%赵亚丽%牟威圩%施朝淑
許小亮%王燁%趙亞麗%牟威圩%施朝淑
허소량%왕엽%조아려%모위우%시조숙
晶粒生长%纳米金%表面形貌%磁控溅射
晶粒生長%納米金%錶麵形貌%磁控濺射
정립생장%납미금%표면형모%자공천사
通过直流溅射沉积法在玻璃衬底上制备了不同生长条件下的纳米金薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其进行表面形貌分析.XRD 图显示Au膜具有(111)面择优取向;AFM图显示,在不同的生长阶段Au膜具有不同的表面微结构.总结了不同的工艺条件对薄膜晶粒生长的影响,这项研究对实现金属薄膜的可控性生长有重要意义.
通過直流濺射沉積法在玻璃襯底上製備瞭不同生長條件下的納米金薄膜,利用X射線衍射(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)對其進行錶麵形貌分析.XRD 圖顯示Au膜具有(111)麵擇優取嚮;AFM圖顯示,在不同的生長階段Au膜具有不同的錶麵微結構.總結瞭不同的工藝條件對薄膜晶粒生長的影響,這項研究對實現金屬薄膜的可控性生長有重要意義.
통과직류천사침적법재파리츤저상제비료불동생장조건하적납미금박막,이용X사선연사(XRD)화원자력현미경(AFM)대기진행표면형모분석.XRD 도현시Au막구유(111)면택우취향;AFM도현시,재불동적생장계단Au막구유불동적표면미결구.총결료불동적공예조건대박막정립생장적영향,저항연구대실현금속박막적가공성생장유중요의의.
