上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2007年
2期
332-336
,共5页
硅酸镓镧%声表面波%微扰理论%应力敏感系数%应力补偿切向
硅痠鎵鑭%聲錶麵波%微擾理論%應力敏感繫數%應力補償切嚮
규산가란%성표면파%미우이론%응력민감계수%응력보상절향
从叠加偏载的运动方程出发,借助微扰理论推导了压电晶片上声表面波波速的应力敏感模型,提出了应力敏感系数的概念,计算了硅酸镓镧在二维旋转空间的应力敏感系数.讨论了应力敏感系数的应用,在平面应力条件下提出并验证了仅用2个系数(a11+a22=0)就可以方便地确定出晶体的应力补偿切向.通过对石英和硅酸镓镧两种晶体的理论计算和实验比较,证明了所提理论和方法的正确性.
從疊加偏載的運動方程齣髮,藉助微擾理論推導瞭壓電晶片上聲錶麵波波速的應力敏感模型,提齣瞭應力敏感繫數的概唸,計算瞭硅痠鎵鑭在二維鏇轉空間的應力敏感繫數.討論瞭應力敏感繫數的應用,在平麵應力條件下提齣併驗證瞭僅用2箇繫數(a11+a22=0)就可以方便地確定齣晶體的應力補償切嚮.通過對石英和硅痠鎵鑭兩種晶體的理論計算和實驗比較,證明瞭所提理論和方法的正確性.
종첩가편재적운동방정출발,차조미우이론추도료압전정편상성표면파파속적응력민감모형,제출료응력민감계수적개념,계산료규산가란재이유선전공간적응력민감계수.토론료응력민감계수적응용,재평면응력조건하제출병험증료부용2개계수(a11+a22=0)취가이방편지학정출정체적응력보상절향.통과대석영화규산가란량충정체적이론계산화실험비교,증명료소제이론화방법적정학성.
