传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
2期
1-3,7
,共4页
薄膜热电偶%赛贝克效应%尺寸效应%扩散%动态标定
薄膜熱電偶%賽貝剋效應%呎吋效應%擴散%動態標定
박막열전우%새패극효응%척촌효응%확산%동태표정
随着低维材料技术的发展和对测温要求的提高,薄膜热电偶温度传感器应运而生,其快速响应特性为测量瞬变温度提供了可能.综述了薄膜热电偶温度传感器国内外发展现状,着重介绍了薄膜临界厚度的确定、扩散现象的影响、制备工艺等关键技术,并对其未来发展做出了展望.
隨著低維材料技術的髮展和對測溫要求的提高,薄膜熱電偶溫度傳感器應運而生,其快速響應特性為測量瞬變溫度提供瞭可能.綜述瞭薄膜熱電偶溫度傳感器國內外髮展現狀,著重介紹瞭薄膜臨界厚度的確定、擴散現象的影響、製備工藝等關鍵技術,併對其未來髮展做齣瞭展望.
수착저유재료기술적발전화대측온요구적제고,박막열전우온도전감기응운이생,기쾌속향응특성위측량순변온도제공료가능.종술료박막열전우온도전감기국내외발전현상,착중개소료박막림계후도적학정、확산현상적영향、제비공예등관건기술,병대기미래발전주출료전망.
