西安理工大学学报
西安理工大學學報
서안리공대학학보
JOURNAL OF XI'AN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2012年
1期
39-44
,共6页
林涛%林楠%马新尖%郑凯%马骁宇
林濤%林楠%馬新尖%鄭凱%馬驍宇
림도%림남%마신첨%정개%마효우
量子阱混杂%光致发光谱%半导体激光器
量子阱混雜%光緻髮光譜%半導體激光器
양자정혼잡%광치발광보%반도체격광기
研究了不同扩散温度下Zn杂质扩散诱导量子阱混杂对AlGaInP/GaInP有源区发光特性的影响规律.当扩散时间为20 min时随着扩散温度从520℃升高到580℃,激光器外延片扩散窗口处的光致发光谱波长蓝移量从13 nm增加到65 nm,且相对发光强度减小,但PL谱的半高宽变化复杂,既有增加又有减小.较高温度和较长时间的扩散条件会对有源区的发光特性造成灾变性破坏.
研究瞭不同擴散溫度下Zn雜質擴散誘導量子阱混雜對AlGaInP/GaInP有源區髮光特性的影響規律.噹擴散時間為20 min時隨著擴散溫度從520℃升高到580℃,激光器外延片擴散窗口處的光緻髮光譜波長藍移量從13 nm增加到65 nm,且相對髮光彊度減小,但PL譜的半高寬變化複雜,既有增加又有減小.較高溫度和較長時間的擴散條件會對有源區的髮光特性造成災變性破壞.
연구료불동확산온도하Zn잡질확산유도양자정혼잡대AlGaInP/GaInP유원구발광특성적영향규률.당확산시간위20 min시수착확산온도종520℃승고도580℃,격광기외연편확산창구처적광치발광보파장람이량종13 nm증가도65 nm,차상대발광강도감소,단PL보적반고관변화복잡,기유증가우유감소.교고온도화교장시간적확산조건회대유원구적발광특성조성재변성파배.
