北京理工大学学报
北京理工大學學報
북경리공대학학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2002年
1期
28-31
,共4页
荆阳%庞思勤%钟生东%周兰英
荊暘%龐思勤%鐘生東%週蘭英
형양%방사근%종생동%주란영
表面工程%MoS2基纳米复合涂层%XPS测试%非平衡纳米复合等离子体镀膜技术
錶麵工程%MoS2基納米複閤塗層%XPS測試%非平衡納米複閤等離子體鍍膜技術
표면공정%MoS2기납미복합도층%XPS측시%비평형납미복합등리자체도막기술
利用摩擦学试验及XPS测试考察了非平衡纳米复合等离子体镀膜技术沉积的MoS2基纳米复合薄膜的抗潮湿性和耐磨寿命等.结果表明,在相对湿度(RH)为60%~70%的环境下储存后,TiN-MoS2薄膜的摩擦学性能迅速降低直至失效;而TiN-MoS2/Ti和TiN-MoS2/TiN复合膜的抗潮湿性能显著提高.因而Ti和(或)N2的适量添加显著增强了MoS2基复合薄膜的抗潮湿及耐磨性能.
利用摩抆學試驗及XPS測試攷察瞭非平衡納米複閤等離子體鍍膜技術沉積的MoS2基納米複閤薄膜的抗潮濕性和耐磨壽命等.結果錶明,在相對濕度(RH)為60%~70%的環境下儲存後,TiN-MoS2薄膜的摩抆學性能迅速降低直至失效;而TiN-MoS2/Ti和TiN-MoS2/TiN複閤膜的抗潮濕性能顯著提高.因而Ti和(或)N2的適量添加顯著增彊瞭MoS2基複閤薄膜的抗潮濕及耐磨性能.
이용마찰학시험급XPS측시고찰료비평형납미복합등리자체도막기술침적적MoS2기납미복합박막적항조습성화내마수명등.결과표명,재상대습도(RH)위60%~70%적배경하저존후,TiN-MoS2박막적마찰학성능신속강저직지실효;이TiN-MoS2/Ti화TiN-MoS2/TiN복합막적항조습성능현저제고.인이Ti화(혹)N2적괄량첨가현저증강료MoS2기복합박막적항조습급내마성능.