金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2000年
5期
530-534
,共5页
Ti-Mo合金%薄膜%氢化
Ti-Mo閤金%薄膜%氫化
Ti-Mo합금%박막%경화
用前向反冲方法和高能非Rutherford背散射方法研究了磁控溅射制备的Ti-Mo合金薄膜的氢化性能和碳、氧污染的影响.掺Mo的Ti合金薄膜不仅能大大减低碳的污染,而且较纯钛有较高的吸氢性能.合金氢化后由δ相氢化物和β相固溶体组成.随着Mo成分增加,合金中的β-(Ti,Mo)含量上升.当Mo含量(原子分数,%)约20时可形成单一的β相固溶体,此时氢含量(原子分数,%)仍可在45以上.Ti-Mo合金薄膜同时也具有良好的附着力和抗粉化性能.
用前嚮反遲方法和高能非Rutherford揹散射方法研究瞭磁控濺射製備的Ti-Mo閤金薄膜的氫化性能和碳、氧汙染的影響.摻Mo的Ti閤金薄膜不僅能大大減低碳的汙染,而且較純鈦有較高的吸氫性能.閤金氫化後由δ相氫化物和β相固溶體組成.隨著Mo成分增加,閤金中的β-(Ti,Mo)含量上升.噹Mo含量(原子分數,%)約20時可形成單一的β相固溶體,此時氫含量(原子分數,%)仍可在45以上.Ti-Mo閤金薄膜同時也具有良好的附著力和抗粉化性能.
용전향반충방법화고능비Rutherford배산사방법연구료자공천사제비적Ti-Mo합금박막적경화성능화탄、양오염적영향.참Mo적Ti합금박막불부능대대감저탄적오염,이차교순태유교고적흡경성능.합금경화후유δ상경화물화β상고용체조성.수착Mo성분증가,합금중적β-(Ti,Mo)함량상승.당Mo함량(원자분수,%)약20시가형성단일적β상고용체,차시경함량(원자분수,%)잉가재45이상.Ti-Mo합금박막동시야구유량호적부착력화항분화성능.
