光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2006年
9期
1412-1416
,共5页
郭小伟%杜惊雷%罗铂靓%郭永康%杜春雷
郭小偉%杜驚雷%囉鉑靚%郭永康%杜春雷
곽소위%두량뢰%라박정%곽영강%두춘뢰
数字灰度光刻%DMD%成像模型%曝光量
數字灰度光刻%DMD%成像模型%曝光量
수자회도광각%DMD%성상모형%폭광량
在深入探讨DMD(Digital Mirror Device)灰度图形传递的特点基础上,把曝光量分布作为分析数字光刻成像的物理量,建立了数字灰度光刻的成像模型.以制作微米量级微透镜为例,通过模拟分析,讨论了数字光刻过程中DMD的工作方式、成像系统参量对抗蚀剂曝光量分布的影响,揭示了数字灰度光刻成像机理,为开展数字光刻实验研究提供了理论根据.
在深入探討DMD(Digital Mirror Device)灰度圖形傳遞的特點基礎上,把曝光量分佈作為分析數字光刻成像的物理量,建立瞭數字灰度光刻的成像模型.以製作微米量級微透鏡為例,通過模擬分析,討論瞭數字光刻過程中DMD的工作方式、成像繫統參量對抗蝕劑曝光量分佈的影響,揭示瞭數字灰度光刻成像機理,為開展數字光刻實驗研究提供瞭理論根據.
재심입탐토DMD(Digital Mirror Device)회도도형전체적특점기출상,파폭광량분포작위분석수자광각성상적물리량,건립료수자회도광각적성상모형.이제작미미량급미투경위례,통과모의분석,토론료수자광각과정중DMD적공작방식、성상계통삼량대항식제폭광량분포적영향,게시료수자회도광각성상궤리,위개전수자광각실험연구제공료이론근거.
