功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
9期
1431-1433
,共3页
程伟明%李佐宜%胡珊%杨晓非%董凯锋%林更琪
程偉明%李佐宜%鬍珊%楊曉非%董凱鋒%林更琪
정위명%리좌의%호산%양효비%동개봉%림경기
射频磁控溅射%非晶垂直磁化膜%矫顽力%饱和磁化强度%光磁混合记录
射頻磁控濺射%非晶垂直磁化膜%矯頑力%飽和磁化彊度%光磁混閤記錄
사빈자공천사%비정수직자화막%교완력%포화자화강도%광자혼합기록
采用射频磁控溅射法在玻璃基片上成功制得了TbFeCo/Pt非晶垂直磁化膜,系统研究了溅射工艺参数对TbFeCo薄膜磁性能的影响.振动样品磁强计测量结果表明:Tb含量在补偿成分点附近,采用较低的溅射氩气压与Pt底层,有利于提高TbFeCo薄膜的磁性能;当Tb含量为0.24,溅射功率为300W,溅射气压为0.53Pa,薄膜厚度为140nm时,TbFeCo/Pt薄膜矫顽力达到476kA/m,饱和磁化强度为151kA/m,剩磁矩形比超过0.8,该薄膜有望用作高密度光磁混合记录介质.
採用射頻磁控濺射法在玻璃基片上成功製得瞭TbFeCo/Pt非晶垂直磁化膜,繫統研究瞭濺射工藝參數對TbFeCo薄膜磁性能的影響.振動樣品磁彊計測量結果錶明:Tb含量在補償成分點附近,採用較低的濺射氬氣壓與Pt底層,有利于提高TbFeCo薄膜的磁性能;噹Tb含量為0.24,濺射功率為300W,濺射氣壓為0.53Pa,薄膜厚度為140nm時,TbFeCo/Pt薄膜矯頑力達到476kA/m,飽和磁化彊度為151kA/m,剩磁矩形比超過0.8,該薄膜有望用作高密度光磁混閤記錄介質.
채용사빈자공천사법재파리기편상성공제득료TbFeCo/Pt비정수직자화막,계통연구료천사공예삼수대TbFeCo박막자성능적영향.진동양품자강계측량결과표명:Tb함량재보상성분점부근,채용교저적천사아기압여Pt저층,유리우제고TbFeCo박막적자성능;당Tb함량위0.24,천사공솔위300W,천사기압위0.53Pa,박막후도위140nm시,TbFeCo/Pt박막교완력체도476kA/m,포화자화강도위151kA/m,잉자구형비초과0.8,해박막유망용작고밀도광자혼합기록개질.
