光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
7期
1077-1083
,共7页
节德刚%刘延杰%孙立宁%陈智超%蔡鹤皋
節德剛%劉延傑%孫立寧%陳智超%蔡鶴皋
절덕강%류연걸%손립저%진지초%채학고
位移测量%双光栅尺%切换合成%FPGA
位移測量%雙光柵呎%切換閤成%FPGA
위이측량%쌍광책척%절환합성%FPGA
提出了一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法.在分析光栅尺测量原理的基础上,探讨双光栅尺信号的切换合成;通过对莫尔条纹电子细分计数脉冲切换误差的分析,研究减小切换合成误差的方法;采用可编程逻辑器件FP-GA设计信号处理电路,并通过逻辑、时序仿真,验证了本方法的可行性.实验结果表明:此方法在光栅尺移动速度》1m/s时,具有10 nm分辨率,可满足新一代运动定位系统对高速高精度位移测量的要求.
提齣瞭一種基于雙光柵呎的高速高精度位移測量方法.在分析光柵呎測量原理的基礎上,探討雙光柵呎信號的切換閤成;通過對莫爾條紋電子細分計數脈遲切換誤差的分析,研究減小切換閤成誤差的方法;採用可編程邏輯器件FP-GA設計信號處理電路,併通過邏輯、時序倣真,驗證瞭本方法的可行性.實驗結果錶明:此方法在光柵呎移動速度》1m/s時,具有10 nm分辨率,可滿足新一代運動定位繫統對高速高精度位移測量的要求.
제출료일충기우쌍광책척적고속고정도위이측량방법.재분석광책척측량원리적기출상,탐토쌍광책척신호적절환합성;통과대막이조문전자세분계수맥충절환오차적분석,연구감소절환합성오차적방법;채용가편정라집기건FP-GA설계신호처리전로,병통과라집、시서방진,험증료본방법적가행성.실험결과표명:차방법재광책척이동속도》1m/s시,구유10 nm분변솔,가만족신일대운동정위계통대고속고정도위이측량적요구.
