光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
2期
349-354
,共6页
导波光学%垂直耦合光互连%软光刻%光线追迹
導波光學%垂直耦閤光互連%軟光刻%光線追跡
도파광학%수직우합광호련%연광각%광선추적
设计并试制了一种新型垂直耦合光互连线路结构,可用于高速计算机内部等垂直堆叠的多层连通光互连的芯片间光信息通讯.其结构简单,且具有较小的连接损耗(可低至0.05 dB).对四种不同的典型波导截面(分别为30 μm×30 μm,50μm×50μm,100 μm×100 μm,200 μm×200 μm),利用蒙特卡罗多光线追迹分析法对跨越1～6层的垂直耦合结构进行了性能分析,发现当该结构的跨越高度与横向跨越距离的比值约为0.128时,可实现较理想的低损耗(低于1 dB)光传输.采用软光刻的方法制备了实验多层光互连线路,其性能测试与理论结果基本相符.
設計併試製瞭一種新型垂直耦閤光互連線路結構,可用于高速計算機內部等垂直堆疊的多層連通光互連的芯片間光信息通訊.其結構簡單,且具有較小的連接損耗(可低至0.05 dB).對四種不同的典型波導截麵(分彆為30 μm×30 μm,50μm×50μm,100 μm×100 μm,200 μm×200 μm),利用矇特卡囉多光線追跡分析法對跨越1～6層的垂直耦閤結構進行瞭性能分析,髮現噹該結構的跨越高度與橫嚮跨越距離的比值約為0.128時,可實現較理想的低損耗(低于1 dB)光傳輸.採用軟光刻的方法製備瞭實驗多層光互連線路,其性能測試與理論結果基本相符.
설계병시제료일충신형수직우합광호련선로결구,가용우고속계산궤내부등수직퇴첩적다층련통광호련적심편간광신식통신.기결구간단,차구유교소적련접손모(가저지0.05 dB).대사충불동적전형파도절면(분별위30 μm×30 μm,50μm×50μm,100 μm×100 μm,200 μm×200 μm),이용몽특잡라다광선추적분석법대과월1～6층적수직우합결구진행료성능분석,발현당해결구적과월고도여횡향과월거리적비치약위0.128시,가실현교이상적저손모(저우1 dB)광전수.채용연광각적방법제비료실험다층광호련선로,기성능측시여이론결과기본상부.
