电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
3期
17-21
,共5页
吕文利%魏唯%朱宗树%蒋超
呂文利%魏唯%硃宗樹%蔣超
려문리%위유%주종수%장초
陶瓷%衬底%CMP%薄膜集成电路
陶瓷%襯底%CMP%薄膜集成電路
도자%츤저%CMP%박막집성전로
介绍了薄膜集成电路陶瓷衬底的化学机械抛光技术,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响陶瓷衬底的化学机械抛光的因素,并用实验加以验证.
介紹瞭薄膜集成電路陶瓷襯底的化學機械拋光技術,概述瞭化學機械拋光原理和設備,討論分析瞭影響陶瓷襯底的化學機械拋光的因素,併用實驗加以驗證.
개소료박막집성전로도자츤저적화학궤계포광기술,개술료화학궤계포광원리화설비,토론분석료영향도자츤저적화학궤계포광적인소,병용실험가이험증.
