CAJ | 학술논문

万方数据

核技术 핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2002年 9期 690-694 ,共5页

汤宝寅%王浪平%王小峰%甘孔银%王松雁%朱剑豪%黄楠%孙鸿

탕보인%왕랑평%왕소봉%감공은%왕송안%주검호%황남%손홍

等离子体浸没离子注入%材料表面改性%强流脉冲阴极弧金属等离子体源%金属等离子体浸没离子注入与沉积等離子體浸沒離子註入%材料錶麵改性%彊流脈遲陰極弧金屬等離子體源%金屬等離子體浸沒離子註入與沉積
등리자체침몰리자주입%재료표면개성%강류맥충음겁호금속등리자체원%금속등리자체침몰리자주입여침적

第三代多功能等离子体浸没离子注入(PIII)装置的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既具有强的镀膜功能, 同时也具有强的金属离子注入功能;它的脉冲高压电源能输出大的电流;并可获得高的注入剂量均匀性.该装置既能执行离子注入,又能把离子注入与溅射沉积,镀膜结合在一起,形成多种综合性表面改性工艺.本文描述了它的主要设计原则、主要部件的特性以及近期的研究工作成果.
제삼대다공능등리자체침몰리자주입(PIII)장치적강류맥충음겁호금속등리자체원기구유강적도막공능, 동시야구유강적금속리자주입공능;타적맥충고압전원능수출대적전류;병가획득고적주입제량균균성.해장치기능집행리자주입,우능파리자주입여천사침적,도막결합재일기,형성다충종합성표면개성공예.본문묘술료타적주요설계원칙、주요부건적특성이급근기적연구공작성과.