低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2010年
3期
7-9,22
,共4页
高纯气体%电子工业%质量保证%"零点"气体
高純氣體%電子工業%質量保證%"零點"氣體
고순기체%전자공업%질량보증%"영점"기체
阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠性,检测分析仪器性能,实验室间检测能力比对中的应用;在工业生产中,在单项测量仪器或在线流程分析仪器中作为"零点气"的应用.
闡述瞭我國高純氣體應用現狀,彊調瞭在電子工業生產中,特種高純氣體在大規模集成電路、液晶顯示器、多晶硅和薄膜太暘能電池、新型電光源、光電半導體器件、光纖通訊器件中的應用;在化學測量質量保證中,校準測量體繫,評價分析方法的可靠性,檢測分析儀器性能,實驗室間檢測能力比對中的應用;在工業生產中,在單項測量儀器或在線流程分析儀器中作為"零點氣"的應用.
천술료아국고순기체응용현상,강조료재전자공업생산중,특충고순기체재대규모집성전로、액정현시기、다정규화박막태양능전지、신형전광원、광전반도체기건、광섬통신기건중적응용;재화학측량질량보증중,교준측량체계,평개분석방법적가고성,검측분석의기성능,실험실간검측능력비대중적응용;재공업생산중,재단항측량의기혹재선류정분석의기중작위"영점기"적응용.
