微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2011年
2期
293-299
,共7页
赵晓霞%李建华%凌浩%刘玉生%郭卫斌%何高奇
趙曉霞%李建華%凌浩%劉玉生%郭衛斌%何高奇
조효하%리건화%릉호%류옥생%곽위빈%하고기
计算机辅助设计%微机电系统%表面微加工%几何建模%掩模精化
計算機輔助設計%微機電繫統%錶麵微加工%幾何建模%掩模精化
계산궤보조설계%미궤전계통%표면미가공%궤하건모%엄모정화
MEMS器件设计流程中,为优化MEMS器件,常常需要对MEMS掩模进行精化设计.为了在MEMS精化设计中同步更新MEMS掩模与几何模型,提出一种面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模方法.该方法主要通过建立MEMS器件几何模型和工艺模型之间的依赖关系图,通过变动依赖关系,求出掩模精化所影响的几何元素,而后在几何模型中仅仅更新所影响的几何元素;对于所对应的几何模型存在拓扑突变等情况,该方法采用参数限定或局部几何模拟进行更新.实例分析表明,提出的几何建模方法能快速有效地响应掩模精化,从而有效地促进MEMS器件设计.
MEMS器件設計流程中,為優化MEMS器件,常常需要對MEMS掩模進行精化設計.為瞭在MEMS精化設計中同步更新MEMS掩模與幾何模型,提齣一種麵嚮掩模精化的錶麵微加工MEMS器件幾何建模方法.該方法主要通過建立MEMS器件幾何模型和工藝模型之間的依賴關繫圖,通過變動依賴關繫,求齣掩模精化所影響的幾何元素,而後在幾何模型中僅僅更新所影響的幾何元素;對于所對應的幾何模型存在拓撲突變等情況,該方法採用參數限定或跼部幾何模擬進行更新.實例分析錶明,提齣的幾何建模方法能快速有效地響應掩模精化,從而有效地促進MEMS器件設計.
MEMS기건설계류정중,위우화MEMS기건,상상수요대MEMS엄모진행정화설계.위료재MEMS정화설계중동보경신MEMS엄모여궤하모형,제출일충면향엄모정화적표면미가공MEMS기건궤하건모방법.해방법주요통과건립MEMS기건궤하모형화공예모형지간적의뢰관계도,통과변동의뢰관계,구출엄모정화소영향적궤하원소,이후재궤하모형중부부경신소영향적궤하원소;대우소대응적궤하모형존재탁복돌변등정황,해방법채용삼수한정혹국부궤하모의진행경신.실례분석표명,제출적궤하건모방법능쾌속유효지향응엄모정화,종이유효지촉진MEMS기건설계.
