强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
6期
1548-1552
,共5页
离子束技术%氧化铪薄膜%激光损伤阈值%光学性能%后处理
離子束技術%氧化鉿薄膜%激光損傷閾值%光學性能%後處理
리자속기술%양화협박막%격광손상역치%광학성능%후처리
在基底清洗、薄膜沉积和薄膜后处理三个阶段均采用离子束技术,制备了氧化铪薄膜,并对薄膜的光学性能、表面特性和激光损伤阈值特性进行测试和研究.结果表明,利用离子束技术清洗基底可以增强表面吸附；离子束辅助沉积在合适离子束能量下可以得到高堆积密度、高损伤阈值的薄膜；离子束后处理氧化铪薄膜可以降低表面粗糙度,改善抗激光损伤阈值.说明在三个薄膜制备阶段同时采用合适的离子束参数可以制备出结构致密、阈值高、表面粗糙度好的氧化铪薄膜.
在基底清洗、薄膜沉積和薄膜後處理三箇階段均採用離子束技術,製備瞭氧化鉿薄膜,併對薄膜的光學性能、錶麵特性和激光損傷閾值特性進行測試和研究.結果錶明,利用離子束技術清洗基底可以增彊錶麵吸附；離子束輔助沉積在閤適離子束能量下可以得到高堆積密度、高損傷閾值的薄膜；離子束後處理氧化鉿薄膜可以降低錶麵粗糙度,改善抗激光損傷閾值.說明在三箇薄膜製備階段同時採用閤適的離子束參數可以製備齣結構緻密、閾值高、錶麵粗糙度好的氧化鉿薄膜.
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