红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
2期
175-178,264
,共5页
脉冲激光沉积%铁电薄膜%工艺参数
脈遲激光沉積%鐵電薄膜%工藝參數
맥충격광침적%철전박막%공예삼수
铁电薄膜在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有着广泛的应用(前景).脉冲激光沉积(PLD)在铁电薄膜制备方面显示出独特的优越性.介绍了PLD的原理、特点;综述了PLD工艺参数,包括衬底温度、氧气压力、靶材结构与成分、能量密度、靶基距离、缓冲膜以及退火工艺等的研究现状;展望了PLD制备铁电薄膜的应用前景.
鐵電薄膜在微電子學、光電子學、集成光學和微電子機械繫統等領域有著廣汎的應用(前景).脈遲激光沉積(PLD)在鐵電薄膜製備方麵顯示齣獨特的優越性.介紹瞭PLD的原理、特點;綜述瞭PLD工藝參數,包括襯底溫度、氧氣壓力、靶材結構與成分、能量密度、靶基距離、緩遲膜以及退火工藝等的研究現狀;展望瞭PLD製備鐵電薄膜的應用前景.
철전박막재미전자학、광전자학、집성광학화미전자궤계계통등영역유착엄범적응용(전경).맥충격광침적(PLD)재철전박막제비방면현시출독특적우월성.개소료PLD적원리、특점;종술료PLD공예삼수,포괄츤저온도、양기압력、파재결구여성분、능량밀도、파기거리、완충막이급퇴화공예등적연구현상;전망료PLD제비철전박막적응용전경.
