机器人
機器人
궤기인
ROBOT
2007年
4期
331-336
,共6页
荣伟彬%宋亦旭%乔遂龙%孙立宁%赵雁南%李春江
榮偉彬%宋亦旭%喬遂龍%孫立寧%趙雁南%李春江
영위빈%송역욱%교수룡%손립저%조안남%리춘강
硅片预对准%压电马达控制%圆拟合算法%缺口检测
硅片預對準%壓電馬達控製%圓擬閤算法%缺口檢測
규편예대준%압전마체공제%원의합산법%결구검측
介绍了所研制的12 in硅片预对准系统.首先,根据硅片预对准系统的任务和流程设计了系统的结构.其次,设计了预对准检测算法,采用最小二乘圆法对硅片圆心进行定位;提出了检测硅片缺口的边缘变化率法和计算缺口基准点的曲线拟合法.对预对准系统进行了误差分析.最后,采用光学式预对准方法,对12 in硅片进行了预对准实验研究.实验结果表明硅片缺口的重复定位精度小于4.8 μm,预对准时间为23 s,满足设计要求.
介紹瞭所研製的12 in硅片預對準繫統.首先,根據硅片預對準繫統的任務和流程設計瞭繫統的結構.其次,設計瞭預對準檢測算法,採用最小二乘圓法對硅片圓心進行定位;提齣瞭檢測硅片缺口的邊緣變化率法和計算缺口基準點的麯線擬閤法.對預對準繫統進行瞭誤差分析.最後,採用光學式預對準方法,對12 in硅片進行瞭預對準實驗研究.實驗結果錶明硅片缺口的重複定位精度小于4.8 μm,預對準時間為23 s,滿足設計要求.
개소료소연제적12 in규편예대준계통.수선,근거규편예대준계통적임무화류정설계료계통적결구.기차,설계료예대준검측산법,채용최소이승원법대규편원심진행정위;제출료검측규편결구적변연변화솔법화계산결구기준점적곡선의합법.대예대준계통진행료오차분석.최후,채용광학식예대준방법,대12 in규편진행료예대준실험연구.실험결과표명규편결구적중복정위정도소우4.8 μm,예대준시간위23 s,만족설계요구.
