江西科学
江西科學
강서과학
JIANGXI SCIENCE
2008年
2期
204-207,318
,共5页
姜迪友%刘德生%欧阳小芳%叶志清%雷敏生
薑迪友%劉德生%歐暘小芳%葉誌清%雷敏生
강적우%류덕생%구양소방%협지청%뢰민생
脉冲激光沉积%薄膜%锂离子电池
脈遲激光沉積%薄膜%鋰離子電池
맥충격광침적%박막%리리자전지
用脉冲激光沉积(PLD),分别在不锈钢和单晶硅(111)衬底上生长了LiMn2O4薄膜,并对所生长LiMn2O4薄膜的结构进行了研究.结果发现,生长在不锈钢衬底上的薄膜具有粗糙的表面和随机的结晶取向,生长在单晶硅衬底上的薄膜具有相对光滑的表面,并具有明显的(111)方向上的择优取向.还研究了脉冲频率和总脉冲数对薄膜生长的影响,结果显示,在相同的沉积条件下,对于不同衬底,LiMn2O4薄膜的生长率不同;脉冲频率对薄膜生长的影响明显,在相同总脉冲数情况下,脉冲频率大,薄膜生长率明显增大.
用脈遲激光沉積(PLD),分彆在不鏽鋼和單晶硅(111)襯底上生長瞭LiMn2O4薄膜,併對所生長LiMn2O4薄膜的結構進行瞭研究.結果髮現,生長在不鏽鋼襯底上的薄膜具有粗糙的錶麵和隨機的結晶取嚮,生長在單晶硅襯底上的薄膜具有相對光滑的錶麵,併具有明顯的(111)方嚮上的擇優取嚮.還研究瞭脈遲頻率和總脈遲數對薄膜生長的影響,結果顯示,在相同的沉積條件下,對于不同襯底,LiMn2O4薄膜的生長率不同;脈遲頻率對薄膜生長的影響明顯,在相同總脈遲數情況下,脈遲頻率大,薄膜生長率明顯增大.
용맥충격광침적(PLD),분별재불수강화단정규(111)츤저상생장료LiMn2O4박막,병대소생장LiMn2O4박막적결구진행료연구.결과발현,생장재불수강츤저상적박막구유조조적표면화수궤적결정취향,생장재단정규츤저상적박막구유상대광활적표면,병구유명현적(111)방향상적택우취향.환연구료맥충빈솔화총맥충수대박막생장적영향,결과현시,재상동적침적조건하,대우불동츤저,LiMn2O4박막적생장솔불동;맥충빈솔대박막생장적영향명현,재상동총맥충수정황하,맥충빈솔대,박막생장솔명현증대.
