光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2009年
3期
549-556
,共8页
压电微动工作台%运动定位%动态迟滞模型%PI迟滞模型%扫描探针显微镜
壓電微動工作檯%運動定位%動態遲滯模型%PI遲滯模型%掃描探針顯微鏡
압전미동공작태%운동정위%동태지체모형%PI지체모형%소묘탐침현미경
为实现压电微动工作台的快速准确运动定位,研究了其运动定位模型.压电工作台的运动定位精度主要受工作台动态特性和迟滞特性的影响,在介绍这两类典型特性模型及其适用范围的基础上,提出了能够同时体现压电工作台动态特性和迟滞特性的动态迟滞模型,并给出了采用Prandtl-Ishlinskii (PI)迟滞算子的动态迟滞模型参数辨识途径.以TRITOR100型压电工作台为例进行实验研究,结果表明:当压电工作台在30 μm的定位范围内以±900 V/s的输入电压速率进行快速运动定位时,动态迟滞模型的模型精度比以往常用的线性动态模型和迟滞模型有较大提高,其平均误差为0.16 μm,最大误差为0.38 μm,为高性能运动定位工作台控制系统的设计提供了模型基础.
為實現壓電微動工作檯的快速準確運動定位,研究瞭其運動定位模型.壓電工作檯的運動定位精度主要受工作檯動態特性和遲滯特性的影響,在介紹這兩類典型特性模型及其適用範圍的基礎上,提齣瞭能夠同時體現壓電工作檯動態特性和遲滯特性的動態遲滯模型,併給齣瞭採用Prandtl-Ishlinskii (PI)遲滯算子的動態遲滯模型參數辨識途徑.以TRITOR100型壓電工作檯為例進行實驗研究,結果錶明:噹壓電工作檯在30 μm的定位範圍內以±900 V/s的輸入電壓速率進行快速運動定位時,動態遲滯模型的模型精度比以往常用的線性動態模型和遲滯模型有較大提高,其平均誤差為0.16 μm,最大誤差為0.38 μm,為高性能運動定位工作檯控製繫統的設計提供瞭模型基礎.
위실현압전미동공작태적쾌속준학운동정위,연구료기운동정위모형.압전공작태적운동정위정도주요수공작태동태특성화지체특성적영향,재개소저량류전형특성모형급기괄용범위적기출상,제출료능구동시체현압전공작태동태특성화지체특성적동태지체모형,병급출료채용Prandtl-Ishlinskii (PI)지체산자적동태지체모형삼수변식도경.이TRITOR100형압전공작태위례진행실험연구,결과표명:당압전공작태재30 μm적정위범위내이±900 V/s적수입전압속솔진행쾌속운동정위시,동태지체모형적모형정도비이왕상용적선성동태모형화지체모형유교대제고,기평균오차위0.16 μm,최대오차위0.38 μm,위고성능운동정위공작태공제계통적설계제공료모형기출.
