测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2010年
5期
405-409
,共5页
谭振新%薛晨阳%侯婷婷%贾晓娟%史伟莉%刘俊%张文栋
譚振新%薛晨暘%侯婷婷%賈曉娟%史偉莉%劉俊%張文棟
담진신%설신양%후정정%가효연%사위리%류준%장문동
MESFET%GaAs%灵敏度%线性度%微加速度计
MESFET%GaAs%靈敏度%線性度%微加速度計
MESFET%GaAs%령민도%선성도%미가속도계
利用金属-半导体结型场效应晶体管(MESFET)作为微加速度计的敏感单元,设计一种4梁-质量块微加速度计结构.通过ANSYS分析软件进行仿真,敏感单位放置于悬臂梁根部的应力最大处,以获得最大的灵敏度.将封装好的微加速度计结构,利用惠斯通电桥测试电路,检测不同载荷下的输出特性,验证了微加速度计的力电耦合效应.测试结果表明,该微加速度计的线性度较好,其最大加载范围可达到24 g,且饱和区的灵敏度可达到4.5 mV/g,为高灵敏微传感器的研究奠定了一定的基础.
利用金屬-半導體結型場效應晶體管(MESFET)作為微加速度計的敏感單元,設計一種4樑-質量塊微加速度計結構.通過ANSYS分析軟件進行倣真,敏感單位放置于懸臂樑根部的應力最大處,以穫得最大的靈敏度.將封裝好的微加速度計結構,利用惠斯通電橋測試電路,檢測不同載荷下的輸齣特性,驗證瞭微加速度計的力電耦閤效應.測試結果錶明,該微加速度計的線性度較好,其最大加載範圍可達到24 g,且飽和區的靈敏度可達到4.5 mV/g,為高靈敏微傳感器的研究奠定瞭一定的基礎.
이용금속-반도체결형장효응정체관(MESFET)작위미가속도계적민감단원,설계일충4량-질량괴미가속도계결구.통과ANSYS분석연건진행방진,민감단위방치우현비량근부적응력최대처,이획득최대적령민도.장봉장호적미가속도계결구,이용혜사통전교측시전로,검측불동재하하적수출특성,험증료미가속도계적력전우합효응.측시결과표명,해미가속도계적선성도교호,기최대가재범위가체도24 g,차포화구적령민도가체도4.5 mV/g,위고령민미전감기적연구전정료일정적기출.
