光散射学报
光散射學報
광산사학보
CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
2011年
1期
1-9
,共9页
显微拉曼光谱术%微电子%晶态%应力%温度%热导率
顯微拉曼光譜術%微電子%晶態%應力%溫度%熱導率
현미랍만광보술%미전자%정태%응력%온도%열도솔
拉曼光谱对被测样品的晶格与分子振动、转动能量非常敏感,而且拉曼光谱的测量具有非破坏性在微纳电子学研究中,需要原位的、高空间分辨率的、非接触的测量方法研究各种材料、器件的晶态、应力热学性质等参数.由此,显微拉曼光谱术就成为一种能够满足上诉要求的、实现多种参数测量的重要的手段.本文通过调研和实验研究了显微拉曼光谱术在硅、低维碳纳米材料等的晶态、应力、热学等研究领域的具体应用,以及一些新出现的研究手段.从大量的相关报道不难看出,显微拉曼光谱术在微纳电子学的进一步发展中将会有更为广泛和深入的应用.
拉曼光譜對被測樣品的晶格與分子振動、轉動能量非常敏感,而且拉曼光譜的測量具有非破壞性在微納電子學研究中,需要原位的、高空間分辨率的、非接觸的測量方法研究各種材料、器件的晶態、應力熱學性質等參數.由此,顯微拉曼光譜術就成為一種能夠滿足上訴要求的、實現多種參數測量的重要的手段.本文通過調研和實驗研究瞭顯微拉曼光譜術在硅、低維碳納米材料等的晶態、應力、熱學等研究領域的具體應用,以及一些新齣現的研究手段.從大量的相關報道不難看齣,顯微拉曼光譜術在微納電子學的進一步髮展中將會有更為廣汎和深入的應用.
랍만광보대피측양품적정격여분자진동、전동능량비상민감,이차랍만광보적측량구유비파배성재미납전자학연구중,수요원위적、고공간분변솔적、비접촉적측량방법연구각충재료、기건적정태、응력열학성질등삼수.유차,현미랍만광보술취성위일충능구만족상소요구적、실현다충삼수측량적중요적수단.본문통과조연화실험연구료현미랍만광보술재규、저유탄납미재료등적정태、응력、열학등연구영역적구체응용,이급일사신출현적연구수단.종대량적상관보도불난간출,현미랍만광보술재미납전자학적진일보발전중장회유경위엄범화심입적응용.
