功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2011年
2期
223-226
,共4页
王茹%张正选%俞文杰%毕大炜%陈明%刘张李%宁冰旭
王茹%張正選%俞文傑%畢大煒%陳明%劉張李%寧冰旭
왕여%장정선%유문걸%필대위%진명%류장리%저빙욱
绝缘体上硅%注氧隔离%总剂量辐照%纳米晶
絕緣體上硅%註氧隔離%總劑量輻照%納米晶
절연체상규%주양격리%총제량복조%납미정
本研究工作采用硅离子注入和高温退火工艺对SIMOX材料的BOX层进行总剂量辐射加固.辐射实验结果证明了该加固方法的有效性.PL谱和HRTEM图像显示了硅离子注入及退火工艺在材料的BOX层中引入了Si纳米晶,形成电子陷阱能级,有效俘获电子,从而提高了材料BOX层的抗总剂量辐射能力.
本研究工作採用硅離子註入和高溫退火工藝對SIMOX材料的BOX層進行總劑量輻射加固.輻射實驗結果證明瞭該加固方法的有效性.PL譜和HRTEM圖像顯示瞭硅離子註入及退火工藝在材料的BOX層中引入瞭Si納米晶,形成電子陷阱能級,有效俘穫電子,從而提高瞭材料BOX層的抗總劑量輻射能力.
본연구공작채용규리자주입화고온퇴화공예대SIMOX재료적BOX층진행총제량복사가고.복사실험결과증명료해가고방법적유효성.PL보화HRTEM도상현시료규리자주입급퇴화공예재재료적BOX층중인입료Si납미정,형성전자함정능급,유효부획전자,종이제고료재료BOX층적항총제량복사능력.
