压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2011年
3期
418-421
,共4页
郑慈航%唐刚%刘景全%李以贵%余震%何丹农%杨春生
鄭慈航%唐剛%劉景全%李以貴%餘震%何丹農%楊春生
정자항%당강%류경전%리이귀%여진%하단농%양춘생
压电发电%能量采集%PZT块材%微机电系统
壓電髮電%能量採集%PZT塊材%微機電繫統
압전발전%능량채집%PZT괴재%미궤전계통
采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器.介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术.该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖宽)的梯形悬臂梁结构,PZT层厚度为16.7 μm,并在其自由端装配Ni质量块以降低元件的固有频率.通过自搭建的检测系统测得,该能量采集器在1阶谐振工作状态(824.7 Hz,1 g加速度强度)下获得了峰-峰值为1 160 mV的输出电压,是利用PZT薄膜制备的同尺寸采能器的2倍.
採用壓電陶瓷(PZT)片狀塊材設計併製作瞭一種可集成于微機電繫統的壓電懸臂樑能量採集器.介紹瞭元件的整體製備流程,包括濕法化學蝕刻、反應離子(RIE)榦法蝕刻、UV-LIGA等流片技術.該文利用環氧樹脂將PZT緊密粘結在基片上的方法步驟和工藝參數作瞭詳細描述,最終穫得瞭2000μm×750μm×500μm(長×底寬×尖寬)的梯形懸臂樑結構,PZT層厚度為16.7 μm,併在其自由耑裝配Ni質量塊以降低元件的固有頻率.通過自搭建的檢測繫統測得,該能量採集器在1階諧振工作狀態(824.7 Hz,1 g加速度彊度)下穫得瞭峰-峰值為1 160 mV的輸齣電壓,是利用PZT薄膜製備的同呎吋採能器的2倍.
채용압전도자(PZT)편상괴재설계병제작료일충가집성우미궤전계통적압전현비량능량채집기.개소료원건적정체제비류정,포괄습법화학식각、반응리자(RIE)간법식각、UV-LIGA등류편기술.해문이용배양수지장PZT긴밀점결재기편상적방법보취화공예삼수작료상세묘술,최종획득료2000μm×750μm×500μm(장×저관×첨관)적제형현비량결구,PZT층후도위16.7 μm,병재기자유단장배Ni질량괴이강저원건적고유빈솔.통과자탑건적검측계통측득,해능량채집기재1계해진공작상태(824.7 Hz,1 g가속도강도)하획득료봉-봉치위1 160 mV적수출전압,시이용PZT박막제비적동척촌채능기적2배.
