红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2011年
8期
1526-1529
,共4页
何曼泽%王琳%周佩璠%杨李茗
何曼澤%王琳%週珮璠%楊李茗
하만택%왕림%주패번%양리명
双面抛光%超薄光学元件%透射波前%反射面形
雙麵拋光%超薄光學元件%透射波前%反射麵形
쌍면포광%초박광학원건%투사파전%반사면형
针对大口径方形超薄光学元件的抛光,提出一种新型的基于环摆抛的双面抛光方法,该方法将环形抛光和钟摆式抛光的运动方式和加工机理耦合起来,使其具备同步控制大口径方形超薄光学元件透射波前和反射面形的特点.从理论上介绍了该方法的抛光原理,利用研制的双面抛光原理样机,通过实验验证了对大口径超薄光学元件的面形修正能力,证实了这种双面抛光方法的可行性.该方法在控制大口径超薄光学元件的透射波前和反射面形上具有显著的效果.
針對大口徑方形超薄光學元件的拋光,提齣一種新型的基于環襬拋的雙麵拋光方法,該方法將環形拋光和鐘襬式拋光的運動方式和加工機理耦閤起來,使其具備同步控製大口徑方形超薄光學元件透射波前和反射麵形的特點.從理論上介紹瞭該方法的拋光原理,利用研製的雙麵拋光原理樣機,通過實驗驗證瞭對大口徑超薄光學元件的麵形脩正能力,證實瞭這種雙麵拋光方法的可行性.該方法在控製大口徑超薄光學元件的透射波前和反射麵形上具有顯著的效果.
침대대구경방형초박광학원건적포광,제출일충신형적기우배파포적쌍면포광방법,해방법장배형포광화종파식포광적운동방식화가공궤리우합기래,사기구비동보공제대구경방형초박광학원건투사파전화반사면형적특점.종이론상개소료해방법적포광원리,이용연제적쌍면포광원리양궤,통과실험험증료대대구경초박광학원건적면형수정능력,증실료저충쌍면포광방법적가행성.해방법재공제대구경초박광학원건적투사파전화반사면형상구유현저적효과.
