中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2012年
3期
13-19
,共7页
谢婷婷%冒守栋%郑必长%余超%汪少杰%宋振纶
謝婷婷%冒守棟%鄭必長%餘超%汪少傑%宋振綸
사정정%모수동%정필장%여초%왕소걸%송진륜
磁体%Ti/Al多层膜%耐腐蚀%磁控溅射
磁體%Ti/Al多層膜%耐腐蝕%磁控濺射
자체%Ti/Al다층막%내부식%자공천사
采用直流磁控溅射技术在烧结NdFeB磁体表面沉积Ti/Al多层膜,并研究其结构及在NaCl溶液中的耐腐蚀性能.在Ti/Al多层膜中,Ti层为密排六方结构,成功打断了Al层(面心立方结构)的柱状晶结构生长.与纯Al膜相比,Ti/Al多层膜具有更致密的表面,且周期数增加,表面越平整致密.动电位极化曲线结果发现,纯Al膜试样的自腐蚀电流密度为1.9×10-5A/cm-2左右,5周期Ti/Al多层膜试样的自腐蚀电流密度约为1.1×10 -7 A/cm2,比纯Al膜小近两个数量级,且随着多层膜周期数的增加,其腐蚀电流密度进一步减小.这些结果表明在快速且破坏性强的腐蚀情况下,Ti/Al多层膜抗腐蚀能力比纯Al膜好,且随着周期数的增加进一步提高.NaCl溶液中长期腐蚀试验时,Ti/Al多层膜的耐腐蚀性能不如纯Al膜,这可能是由Ti层和Al层间形成原电池且多层膜应力较大导致.
採用直流磁控濺射技術在燒結NdFeB磁體錶麵沉積Ti/Al多層膜,併研究其結構及在NaCl溶液中的耐腐蝕性能.在Ti/Al多層膜中,Ti層為密排六方結構,成功打斷瞭Al層(麵心立方結構)的柱狀晶結構生長.與純Al膜相比,Ti/Al多層膜具有更緻密的錶麵,且週期數增加,錶麵越平整緻密.動電位極化麯線結果髮現,純Al膜試樣的自腐蝕電流密度為1.9×10-5A/cm-2左右,5週期Ti/Al多層膜試樣的自腐蝕電流密度約為1.1×10 -7 A/cm2,比純Al膜小近兩箇數量級,且隨著多層膜週期數的增加,其腐蝕電流密度進一步減小.這些結果錶明在快速且破壞性彊的腐蝕情況下,Ti/Al多層膜抗腐蝕能力比純Al膜好,且隨著週期數的增加進一步提高.NaCl溶液中長期腐蝕試驗時,Ti/Al多層膜的耐腐蝕性能不如純Al膜,這可能是由Ti層和Al層間形成原電池且多層膜應力較大導緻.
채용직류자공천사기술재소결NdFeB자체표면침적Ti/Al다층막,병연구기결구급재NaCl용액중적내부식성능.재Ti/Al다층막중,Ti층위밀배륙방결구,성공타단료Al층(면심립방결구)적주상정결구생장.여순Al막상비,Ti/Al다층막구유경치밀적표면,차주기수증가,표면월평정치밀.동전위겁화곡선결과발현,순Al막시양적자부식전류밀도위1.9×10-5A/cm-2좌우,5주기Ti/Al다층막시양적자부식전류밀도약위1.1×10 -7 A/cm2,비순Al막소근량개수량급,차수착다층막주기수적증가,기부식전류밀도진일보감소.저사결과표명재쾌속차파배성강적부식정황하,Ti/Al다층막항부식능력비순Al막호,차수착주기수적증가진일보제고.NaCl용액중장기부식시험시,Ti/Al다층막적내부식성능불여순Al막,저가능시유Ti층화Al층간형성원전지차다층막응력교대도치.
