中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2006年
5期
683-686
,共4页
王聪娟%晋云霞%王英剑%邵建达%范正修
王聰娟%晉雲霞%王英劍%邵建達%範正脩
왕총연%진운하%왕영검%소건체%범정수
薄膜%离子辅助沉积%弱吸收%激光损伤阈值
薄膜%離子輔助沉積%弱吸收%激光損傷閾值
박막%리자보조침적%약흡수%격광손상역치
采用合适的离子束辅助沉积(IBAD)参数在K9基底上镀制了高激光损伤阈值的中心波长1053 nm的增透膜,分别从光谱性能、吸收性能、抗激光损伤阈值(LIDT)以及退火后的影响等方面与未进行离子束辅助沉积的薄膜进行对比分析.实验结果发现,采用离子辅助制备的薄膜放置80 d后具有更好的光谱稳定性,与未进行离子束辅助镀制的薄膜相比,平均吸收下降了57%,吸收值偏高的奇异点明显减少;损伤阈值提高了60%,用Leica偏振光学显微镜观察50%损伤几率的能量下破斑形貌,发现经过离子束辅助制备的样品破斑形状整齐且缺陷点少;未进行离子束辅助制备的样品退火后吸收降低,阈值提高,但奇异点没有减少,辅助样品变化不大.由此可知,离子辅助有助于制备高性能基频增透膜.
採用閤適的離子束輔助沉積(IBAD)參數在K9基底上鍍製瞭高激光損傷閾值的中心波長1053 nm的增透膜,分彆從光譜性能、吸收性能、抗激光損傷閾值(LIDT)以及退火後的影響等方麵與未進行離子束輔助沉積的薄膜進行對比分析.實驗結果髮現,採用離子輔助製備的薄膜放置80 d後具有更好的光譜穩定性,與未進行離子束輔助鍍製的薄膜相比,平均吸收下降瞭57%,吸收值偏高的奇異點明顯減少;損傷閾值提高瞭60%,用Leica偏振光學顯微鏡觀察50%損傷幾率的能量下破斑形貌,髮現經過離子束輔助製備的樣品破斑形狀整齊且缺陷點少;未進行離子束輔助製備的樣品退火後吸收降低,閾值提高,但奇異點沒有減少,輔助樣品變化不大.由此可知,離子輔助有助于製備高性能基頻增透膜.
채용합괄적리자속보조침적(IBAD)삼수재K9기저상도제료고격광손상역치적중심파장1053 nm적증투막,분별종광보성능、흡수성능、항격광손상역치(LIDT)이급퇴화후적영향등방면여미진행리자속보조침적적박막진행대비분석.실험결과발현,채용리자보조제비적박막방치80 d후구유경호적광보은정성,여미진행리자속보조도제적박막상비,평균흡수하강료57%,흡수치편고적기이점명현감소;손상역치제고료60%,용Leica편진광학현미경관찰50%손상궤솔적능량하파반형모,발현경과리자속보조제비적양품파반형상정제차결함점소;미진행리자속보조제비적양품퇴화후흡수강저,역치제고,단기이점몰유감소,보조양품변화불대.유차가지,리자보조유조우제비고성능기빈증투막.
