科学通报
科學通報
과학통보
CHINESE SCIENCE BULLETIN
2007年
9期
1091-1093
,共3页
郑鹏飞%赵高凌%张天播%吴历清%汪建勋%韩高荣
鄭鵬飛%趙高凌%張天播%吳歷清%汪建勛%韓高榮
정붕비%조고릉%장천파%오력청%왕건훈%한고영
氮化钛%常压化学气相沉积法%节能涂层
氮化鈦%常壓化學氣相沉積法%節能塗層
담화태%상압화학기상침적법%절능도층
利用常压化学气相沉积法(APCVD)以四氯化钛(TiCl4)和氨气(NH3)作为反应物在玻璃基板上沉积制备了氮化钛(TiN)薄膜.分别用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、四探针电阻仪和分光光度计等对TiN薄膜的结晶性能、微观结构、表面形貌和光学、电学性能进行了分析.结果表明, 制备的TiN薄膜厚度为500 nm, 具有NaCl型面心立方结构并表现出(200)晶面的择优取向, 薄膜的晶粒大小分布均匀.在可见光区的透射率达到60%, 反射率小于10%.在近红外光区的反射率达40%以上.方块电阻为34.5 Ω, 按照Drude理论可以计算出薄膜的中远红外反射率为71.5%, 说明制备的TiN薄膜在保证足够取光的条件下表现出良好的节能性能.
利用常壓化學氣相沉積法(APCVD)以四氯化鈦(TiCl4)和氨氣(NH3)作為反應物在玻璃基闆上沉積製備瞭氮化鈦(TiN)薄膜.分彆用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、四探針電阻儀和分光光度計等對TiN薄膜的結晶性能、微觀結構、錶麵形貌和光學、電學性能進行瞭分析.結果錶明, 製備的TiN薄膜厚度為500 nm, 具有NaCl型麵心立方結構併錶現齣(200)晶麵的擇優取嚮, 薄膜的晶粒大小分佈均勻.在可見光區的透射率達到60%, 反射率小于10%.在近紅外光區的反射率達40%以上.方塊電阻為34.5 Ω, 按照Drude理論可以計算齣薄膜的中遠紅外反射率為71.5%, 說明製備的TiN薄膜在保證足夠取光的條件下錶現齣良好的節能性能.
이용상압화학기상침적법(APCVD)이사록화태(TiCl4)화안기(NH3)작위반응물재파리기판상침적제비료담화태(TiN)박막.분별용X사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)、원자력현미경(AFM)、사탐침전조의화분광광도계등대TiN박막적결정성능、미관결구、표면형모화광학、전학성능진행료분석.결과표명, 제비적TiN박막후도위500 nm, 구유NaCl형면심립방결구병표현출(200)정면적택우취향, 박막적정립대소분포균균.재가견광구적투사솔체도60%, 반사솔소우10%.재근홍외광구적반사솔체40%이상.방괴전조위34.5 Ω, 안조Drude이론가이계산출박막적중원홍외반사솔위71.5%, 설명제비적TiN박막재보증족구취광적조건하표현출량호적절능성능.
