半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2007年
5期
676-679,684
,共5页
纳米压印%紫外%光学系统
納米壓印%紫外%光學繫統
납미압인%자외%광학계통
介绍了紫外纳米压印技术原理和自主研发的压印系统.设计了一种利用气囊气缸的新型找平装置,并描述了该装置的原理.研制了相应的光学系统,着重讨论了光学系统的设计和调整.最后,通过使用该系统成功制备了具有100 nm特征尺寸的纳米结构.
介紹瞭紫外納米壓印技術原理和自主研髮的壓印繫統.設計瞭一種利用氣囊氣缸的新型找平裝置,併描述瞭該裝置的原理.研製瞭相應的光學繫統,著重討論瞭光學繫統的設計和調整.最後,通過使用該繫統成功製備瞭具有100 nm特徵呎吋的納米結構.
개소료자외납미압인기술원리화자주연발적압인계통.설계료일충이용기낭기항적신형조평장치,병묘술료해장치적원리.연제료상응적광학계통,착중토론료광학계통적설계화조정.최후,통과사용해계통성공제비료구유100 nm특정척촌적납미결구.
