测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2009年
6期
519-525
,共7页
李孟委%刘俊%刘韶轩%杜康%石云波
李孟委%劉俊%劉韶軒%杜康%石雲波
리맹위%류준%류소헌%두강%석운파
介观压阻效应%微机械陀螺%结构优化
介觀壓阻效應%微機械陀螺%結構優化
개관압조효응%미궤계타라%결구우화
介绍了介观压阻效应,其灵敏度比硅压阻效应高一个数量级.利用该效应作为高灵敏度器件,首次提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.利用ANSYS软件,对其结构性能进行仿真,分析了固有频率、振幅以及哥氏效应下敏感方向的位移等特性,提出了结构优化分析的方法.在哥氏效应等耦合作用下对该结构进行多参数优化设计,并得到优化结果.经过对结果进行比较和考量分析,结果证明:微陀螺仪的驱动频率和检测频率的差值由原来的217.83Hz增大到362.87Hz,微陀螺仪的工作带宽增大,同时质量块在Z方向的位移增大了0.3μm,从而使检测梁根部受到的应力也增大了1.7MPa,结构灵敏度提高了18%.
介紹瞭介觀壓阻效應,其靈敏度比硅壓阻效應高一箇數量級.利用該效應作為高靈敏度器件,首次提齣瞭介觀壓阻效應微陀螺儀結構,併論述瞭其工作原理.利用ANSYS軟件,對其結構性能進行倣真,分析瞭固有頻率、振幅以及哥氏效應下敏感方嚮的位移等特性,提齣瞭結構優化分析的方法.在哥氏效應等耦閤作用下對該結構進行多參數優化設計,併得到優化結果.經過對結果進行比較和攷量分析,結果證明:微陀螺儀的驅動頻率和檢測頻率的差值由原來的217.83Hz增大到362.87Hz,微陀螺儀的工作帶寬增大,同時質量塊在Z方嚮的位移增大瞭0.3μm,從而使檢測樑根部受到的應力也增大瞭1.7MPa,結構靈敏度提高瞭18%.
개소료개관압조효응,기령민도비규압조효응고일개수량급.이용해효응작위고령민도기건,수차제출료개관압조효응미타라의결구,병논술료기공작원리.이용ANSYS연건,대기결구성능진행방진,분석료고유빈솔、진폭이급가씨효응하민감방향적위이등특성,제출료결구우화분석적방법.재가씨효응등우합작용하대해결구진행다삼수우화설계,병득도우화결과.경과대결과진행비교화고량분석,결과증명:미타라의적구동빈솔화검측빈솔적차치유원래적217.83Hz증대도362.87Hz,미타라의적공작대관증대,동시질량괴재Z방향적위이증대료0.3μm,종이사검측량근부수도적응력야증대료1.7MPa,결구령민도제고료18%.
