中国光学与应用光学
中國光學與應用光學
중국광학여응용광학
CHINESE JOURNAL OF OPTICS AND APPLIED OPTICS
2010年
6期
679-683
,共5页
闪耀光栅%衍射效率%矢量衍射%严格耦合波分析
閃耀光柵%衍射效率%矢量衍射%嚴格耦閤波分析
섬요광책%연사효솔%시량연사%엄격우합파분석
将矢量衍射数值算法-严格耦合波分析用于精确计算亚波长闪耀光栅的衍射效率,并分析其衍射特性.建立了闪耀光栅的电磁介质模型,并将楔形不规则结构简化为多层矩形光栅结构,通过电磁场的介质分布建立严格耦合波方程.根据边界条件求解出各层的电磁场分布,再通过增透矩阵方法将各层电磁场依次迭代,求解出了整个结构的衍射效率.计算分析显示,对闪耀角为11.3°、周期为500 nm的金属铝闪耀光栅可以得到高于90%的衍射效率和相应的闪耀级次.实验表明这种矢量衍射数值算法具有较高的准确性,可以推广应用于高致密刻线复杂光栅的衍射计算分析.
將矢量衍射數值算法-嚴格耦閤波分析用于精確計算亞波長閃耀光柵的衍射效率,併分析其衍射特性.建立瞭閃耀光柵的電磁介質模型,併將楔形不規則結構簡化為多層矩形光柵結構,通過電磁場的介質分佈建立嚴格耦閤波方程.根據邊界條件求解齣各層的電磁場分佈,再通過增透矩陣方法將各層電磁場依次迭代,求解齣瞭整箇結構的衍射效率.計算分析顯示,對閃耀角為11.3°、週期為500 nm的金屬鋁閃耀光柵可以得到高于90%的衍射效率和相應的閃耀級次.實驗錶明這種矢量衍射數值算法具有較高的準確性,可以推廣應用于高緻密刻線複雜光柵的衍射計算分析.
장시량연사수치산법-엄격우합파분석용우정학계산아파장섬요광책적연사효솔,병분석기연사특성.건립료섬요광책적전자개질모형,병장설형불규칙결구간화위다층구형광책결구,통과전자장적개질분포건립엄격우합파방정.근거변계조건구해출각층적전자장분포,재통과증투구진방법장각층전자장의차질대,구해출료정개결구적연사효솔.계산분석현시,대섬요각위11.3°、주기위500 nm적금속려섬요광책가이득도고우90%적연사효솔화상응적섬요급차.실험표명저충시량연사수치산법구유교고적준학성,가이추엄응용우고치밀각선복잡광책적연사계산분석.
