传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
8期
137-140
,共4页
黄山石%胡贤巧%何巧红%陈恒武
黃山石%鬍賢巧%何巧紅%陳恆武
황산석%호현교%하교홍%진항무
气动微阀%微流控芯片%聚甲基丙烯酸甲酯%聚二甲基硅氧烷
氣動微閥%微流控芯片%聚甲基丙烯痠甲酯%聚二甲基硅氧烷
기동미벌%미류공심편%취갑기병희산갑지%취이갑기규양완
报道了一种新型的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)/聚二甲基硅氧烷(PDMS)复合芯片.该芯片采用PMMA-PDMS…PDMS-PMMA的四层构型,以在芯片上集成气动微阀.具有液路和控制通道网路的PMMA基片与PDMS弹性膜间采用不可逆封接,分别形成液路半芯片和控制半芯片,而2个半芯片则依靠PDMS膜间的粘性实现可逆封接,组成带有微阀的全芯片.这种制备方法解决了制备PMMA-PDMS-PMMA三层结构芯片的封接难题,封接过程简单可靠.其控制部分和液路部分可以单独更换,可进一步降低使用成本,尤其适合一次性应用场合.初步实验表明:该微阀具有良好的开关性能和耐用性.
報道瞭一種新型的聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)/聚二甲基硅氧烷(PDMS)複閤芯片.該芯片採用PMMA-PDMS…PDMS-PMMA的四層構型,以在芯片上集成氣動微閥.具有液路和控製通道網路的PMMA基片與PDMS彈性膜間採用不可逆封接,分彆形成液路半芯片和控製半芯片,而2箇半芯片則依靠PDMS膜間的粘性實現可逆封接,組成帶有微閥的全芯片.這種製備方法解決瞭製備PMMA-PDMS-PMMA三層結構芯片的封接難題,封接過程簡單可靠.其控製部分和液路部分可以單獨更換,可進一步降低使用成本,尤其適閤一次性應用場閤.初步實驗錶明:該微閥具有良好的開關性能和耐用性.
보도료일충신형적취갑기병희산갑지(PMMA)/취이갑기규양완(PDMS)복합심편.해심편채용PMMA-PDMS…PDMS-PMMA적사층구형,이재심편상집성기동미벌.구유액로화공제통도망로적PMMA기편여PDMS탄성막간채용불가역봉접,분별형성액로반심편화공제반심편,이2개반심편칙의고PDMS막간적점성실현가역봉접,조성대유미벌적전심편.저충제비방법해결료제비PMMA-PDMS-PMMA삼층결구심편적봉접난제,봉접과정간단가고.기공제부분화액로부분가이단독경환,가진일보강저사용성본,우기괄합일차성응용장합.초보실험표명:해미벌구유량호적개관성능화내용성.
